Sistema de ataque seco reactivo (RIE)

Sistema RIE (Ataque Seco)

Sistema de ataque seco reactivo (RIE)
Sistema de ataque seco reactivo (RIE) 1

Sistema de ataque por iones reactivos (RIE) (Plasmalab µ80)

  • Plasma generado con fuente RF
  • Bombeo con bomba turbo molecular Pfeiffer Drag TPH 2101
  • Gases instalados:
    • Tetracloruro de silicio (SiCl4)
    • Hidrógeno (H2)
    • Oxígeno (O2)
    • Argón (Ar)
    • Hexafloruro de azufre (SF6)
    • Tetrafloruro de carbono (CF4)

Sistemas de depósito de capas finas por métodos químicos CVD y PECVD

Equipo aixt

Reactor de pared fría de 4 pulgadas Aixtron Black Magic Pro

  • Precursores gaseosos inyectados con un sistema difusor
  • Control de temperatura vía termopar o pirómetro óptico
  • Crecimiento en régimen de baja presión o cercano a presión atmosférica
  • Posibilidad de inducir un plasma DC o pulsado