Sistema de ataque seco reactivo (RIE)
Sistema RIE (Ataque Seco)
Sistema de ataque por iones reactivos (RIE) (Plasmalab µ80)
- Plasma generado con fuente RF
- Bombeo con bomba turbo molecular Pfeiffer Drag TPH 2101
- Gases instalados:
- Tetracloruro de silicio (SiCl4)
- Hidrógeno (H2)
- Oxígeno (O2)
- Argón (Ar)
- Hexafloruro de azufre (SF6)
- Tetrafloruro de carbono (CF4)
Sistemas de depósito de capas finas por métodos químicos CVD y PECVD
Reactor de pared fría de 4 pulgadas Aixtron Black Magic Pro
- Precursores gaseosos inyectados con un sistema difusor
- Control de temperatura vía termopar o pirómetro óptico
- Crecimiento en régimen de baja presión o cercano a presión atmosférica
- Posibilidad de inducir un plasma DC o pulsado