INSTALACIONES LABORATORIOS Y SALAS BLANCAS
EQUIPAMIENTO MÁS RELEVANTE
SISTEMAS DE CRECIMIENTO
- Sistemas de crecimiento epitaxial por haces moleculares (MBE) y cámaras asociadas de transferencia y metalización (3 sistemas)
- Sistema de pulverización catódica (sputtering) mediante Magnetrón
- Sistemas de metalización térmica (Joule, e-beam)
- Sistemas de depósito de capas finas por métodos químicos CVD y PECVD
SISTEMAS DE PROCESADO
• Sistema de nanolitografía de alta resolución (resolución línea 10 nm)
• Sistema de Fotolitografía
• Sistema de ataque seco reactivo (RIE)
• Sistemas de recocido térmico convencional y rápido (RTA) (5 sistemas)
• Cortadoras de disco de ultraprecisión, Scriber de diamante y perfilómetro
• Sistemas de microsoldadura ultrasónica y por termocompresión (2 sistemas)
SISTEMAS DE CARACTERIZACIÓN
A) Estructural y de Superficies
• Microscopio Electrónico de Barrido (SEM) con EDAX
• Microscopio de Fuerza Atómica (AFM)
B) Eléctrica y Magnética
• Sistema de caracterización por efecto Hall
• Analizador de Redes y estación de micropuntas
• Sistema de caracterización Magnética (Vibrating Sample Magnetometer: VSM)
C) Óptica
• Sistemas de fotoluminiscencia UV, VIS e IR (4 sistemas)
• Espectrómetro FTIR (VIS, IR) , Nicolet Magna IR 760
• Microscopio óptico Nomarski de alta resolución
D) De dispositivos
• Estaciones de puntas de chips (baja capacidad) para VLSI y dispositivos discretos (2 sistemas)
