ISOM-UPM - Equipos y Técnicas experimentales

Instituto de Sistemas Optoelectrónicos y Microtecnología
Universidad Politécnica de Madrid

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Sistemas de Crecimiento y Producción

Sistemas de Caracterización

A) Estructural y de Superficies

Difractómetros de Rayos X de alta resolución (XRD) (2 sistemas)
Microscopio electrónico de barrido (SEM) con EDAX
Microscopio de fuerzas atómicas (AFM)
Microscopio de corriente inducida por haz de electrones (EBIC)
Medidor de espesores

B) Eléctrica y Magnética

Sistemas electrónicos de caracterización y medida (trazador de características, parametrizador, puentes de impedancia, osciloscopio de muestreo, generadores nanovoltímetros, amplificadores por ajuste de fase, etc.)
Sistema de caracterización por efecto Hall
Estación de micropuntas y sistemas de análisis de redes en RF (< 20 GHz)
Sistemas de caracterización eléctrica de defectos (DLTS)
Sistema de caracterización eléctrica y óptica bajo presión hidrostática
Medida eléctrica de perfil de dopante en profundidad (perfilómetro de punta de mercurio)
Sistema de caracterización Magnética(Vibrating Sample Magnetometer: VSM)
Sistema de observación de dominios magnéticos (tratamiento digital de imágenes)

C) Óptica

Sistemas de fotoluminiscencia UV, VIS e IR (4 sistemas)
Espectrómetro de absorción FTIR (VIS, IR) (Nicolet 760)
Elipsómetro
Microscopio óptico Nomarski de alta resolución
Sistemas de criogenia (5 sistemas)

D) De dispositivos

Estaciones de puntas de chips (baja capacidad) para VLSI y dispositivos discretos (2 sistemas)
Estación de caracterización eléctrica y óptica para alta T (hasta 400°C)
Sistema de caracterización eléctrica automatizada de transistores y dispositivos (C-V, I-V, C-f, ruido 1/f, T, etc) hasta 1GHz
Caracterización de dispositivos fotónicos
Sistemas de captura y análisis de imágenes
Banco de caracterización de láseres de semiconductor con equipos electrónicos asociados
Sistemas de caracterización óptica de detectores